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Application

应用

半导体应用

在半导体制造工艺中,为了形成精细的图案和结构,通常会要求更高。高分辨率工业镜头的作用也是为了实现精准成像。我们通过高品质的光学元件和优秀设计,来实现产品的高分辨率。我们为半导体制造设备应用而设计工业镜头,配合实现高精度贴合和检测,并在最大限度上抑制细微的图案层间的位置偏差,为有应用需求的客户提供精准成像。镜头的定位和距离,会直接影响半导体设备的细微图案形成和检查精度,而高精度镜头则可实现精准定位和成像,助力产品品质的提升。茉丽特通过精密加工和组装,实现产品的高精度要求。
另外,我们还可以根据客户需求提供定制化产品,为有特定需求和应用的客户提供理想的解决方案。

晶圆外观检查设备

半导体晶圆的外观检查,为了检测细微的图案和缺陷,对镜头倍率有很高要求。高分辨率工业镜头用来实现精确检测微小的特征和缺陷。在外观检测中,镜头同轴照明光路均匀地聚集来自光源的光,为被测物表面提供均匀的照明,而均匀照明对于精确的检测结果必不可少。另外,更高对比度的镜头,能清晰地显示被测物的细微细节和特征。近年来,由于大靶面CMOS传感器的推出,半导体的外观检测可以更高效、大范围地进行,这就要求镜头具有更大像面,以便配合大靶面相机提高检测效率,缩短检测时间。

推荐镜头

大靶面远心镜头MML-HR-35/43系列
高倍远心镜头SOD系列

晶圆测试设备

晶圆测试需要正确地识别晶圆位置,对微小的电路和器件进行测量和检测。工业镜头通过高倍率放大及大像场,实现详细的检测和有效的晶圆覆盖。为了检测晶圆上微小的图案和缺陷,我们通过先进的光学设计和光学材料的组合来实现高分辨率的镜头。晶圆检测需要高速检查大量晶圆,因此镜头需要能应对高速成像,助力高速数据处理,从而提高生产效率和产量。另外,为满足各种晶圆的检测要求,我们需要在合理且灵活的照明条件下观察晶圆。通过镜头的同轴照明设计,可提供均匀照明来获得精确的检测结果。由于晶圆测试设备要求持续运行,也需要镜头具有高可靠性和耐久性。我们通过耐用的光学材料和镀膜,及稳定的结构设计,可为客户提供长期稳定的产品性能。


推荐镜头

MML-NIR 系列
MML-HR系列
定制镜头


划片机

在划片机中,为了准确地切割晶圆上的电路和器件,需要很高的定位精度和与之匹配的镜头分辨率。镜头的作用是精确地显示微小的图案和线宽,实现高精度的切割。切割过程经常是连续进行的,所以要求镜头具有很好的耐用性。茉丽特采用具有耐水、耐化学品、耐磨损性的光学材料和涂层,及稳定的结构设计,能为客户提供长期稳定的产品性能。为了对应各种晶圆类型,需要匹配合理、灵活的照明条件。通过镜头的同轴照明设计,可提供均匀照明来进行精确的切割。另外,为了应对特殊的切割要求,我们也会根据特定条件使用相应的镜头。例如,在切割不同材质或非常坚硬的材料时,可能需要特殊的镜头设计和材料,且需要由可视范围到近红外范围的宽波长来对应。


推荐镜头

MML-NIR系列
SWIR系列
定制产品



固晶机

固晶机需要将微小的零件和芯片准确定位。工业镜头实现了很高的定位精度,能够观察到零件的细微特征并进行精确的贴合。另外,镜头的高倍率和高分辨率特性,可以将微小的特征和缺陷清晰成像。在贴合过程中,均匀的照明很重要。远心镜头的同轴光路设计,为被测物表面提供均匀的照明,从而可以进行准确的观测和定位。由于固晶机经常要在连续的、恶劣的振动环境下运用,这就要求镜头具有很高的可靠性和耐久性。茉丽特的镜头通过具有耐久性的光学材料和镀膜,稳定的结构设计,可为客户提供长久稳定的产品性能。近年来,由于高密度化的要求,倒装覆晶取代了传统的引线键合而得到广泛应用。在倒装覆晶键合中,由于是将芯片直接贴合在基板上,由此实现了引线长度的缩短和信号传输速度的提高。3D键合则采用了密度更高的互连技术。TSV (Through-Silicon Via)技术是在芯片内部制造微小的垂直连接孔,堆叠和连接多个芯片。这样就能实现高速、高密度的数据传输和多种功能集成。为了提高最新的3D贴合精度,细微的零件和芯片的定位精度非常重要,但光学系统的畸变和偏差会对正确的定位产生影响。茉丽特同时采用了独特的光学设计技术和调芯技术,观测各种材料和结构的特性,选择合适的贴合工艺,覆盖多个波段,可以对不同的材料及零件进行评估。通过结合激光对焦,并利用不同波长的光来观察对象的多光谱成像、白干涉技术和共焦技术等一系列组合技术,可以为各种贴合工艺提供理想的光学系统。


推荐镜头

标清远心镜头MML-HR系列
大靶面远心镜头MML-SR系列
定制镜头


贴片机

贴片机需要对精密的零件和基板的进行定位和贴合。高分辨率镜头,可清晰地观察微小的特征和图案。因过程中需要一次处理多个部件和基板,镜头需要实现大视场,并且在所有的区域都具有一致的光学性能。这样可以提升同时处理多个零件和底板的效率。因为要观察大视场,一次进行大量的图像处理,所以零件和基板的照射光同样需要均匀分布。茉丽特独有的同轴照明设计技术,可以突出被测物表面的细微特征和结构,实现高对比度,并能清晰观察被测物的凹凸和微小图案,实现精密观测,进而实现高效的零件定位。另外,贴片机的运行持续且环境恶劣,因此,镜头需要有稳固的设计,以便能长时间在恶劣的环境下持续工作。


推荐镜头

低倍率远心标清镜头MML-HR系列
大靶面远心镜头MML-SR系列
定制镜头

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产品系列
  • 产品型号
  • 倍率
    [x]
  • O/I
    [mm]
  • WD
    [mm]
  • 分辨率
    [μm] *1
  • 景深
    [mm] *2
  • NA
  • 有效F#
  • 最大像面
    [mm]
  • TV畸变
    [%]
大面阵系列
  • MML1-HR130VI-35F
  • 1
  • 328.3
  • 130
  • 4.4~14.6
  • 0.518~1.76
  • 0.077~0.023
  • 6.47~22
  • 35
  • ≤0.017
  • MML2-HR110VI-43F
  • 2
  • 387.64
  • 110
  • 2.68~7.46
  • 0.16~0.44
  • 0.125~0.045
  • 7.99~22
  • 43
  • ≤0.017
  • MML5-HR80DVI-43F
  • 5
  • 400
  • 80
  • 1.99~2.94
  • 0.05~0.07
  • 0.17~0.114
  • 14.7~22
  • 43.5
  • ≤0.011
SR-18C系列(1.1")
  • MML06-SR110VI-18C
  • 0.6
  • 256.5
  • 110
  • 6.21~23.96
  • 1.24~4.89
  • 0.053~0.013
  • 5.6~22
  • 18
  • ≤0.005
  • MML1-SR65VI-18C
  • 1
  • 204.2
  • 65
  • 4.7~14.8
  • 0.56~1.76
  • 0.071~0.023
  • 7~22
  • 18
  • ≤0.003
  • MML2-SR65VI-18C
  • 2
  • 213.3
  • 65
  • 2.7~7.4
  • 0.16~0.44
  • 0.125~0.045
  • 8~22
  • 18
  • ≤0.005
  • MML3-SR65DVI-18C
  • 3
  • 235.7
  • 65
  • 2.11~4.93
  • 0.084~0.196
  • 0.159~0.068
  • 9.43~22
  • 18
  • ≤0.015
  • MML3-SR65VI-18C
  • 3
  • 235.7
  • 65
  • 2.11~4.93
  • 0.084~0.196
  • 0.159~0.068
  • 9.43~22
  • 18
  • ≤0.015
  • MML4-SR65DVI-18C
  • 4
  • 270.6
  • 65
  • 1.99~3.73
  • 0.059~0.11
  • 0.169~0.09
  • 11.83~22
  • 18
  • ≤0.006
  • MML4-SR65VI-18C
  • 4
  • 270.6
  • 65
  • 1.99~3.73
  • 0.059~0.11
  • 0.169~0.09
  • 11.83~22
  • 18
  • ≤0.006
高倍系列
  • SOD-10X
  • 10
  • 253.7
  • 55.2
  • 1.5
  • 0.017
  • 0.23
  • 22
  • 11
  • ≤0.01
  • SOD-20X
  • 20
  • 300
  • 37.5
  • 1~3
  • 0.0057-0.026
  • 0.35~0.113
  • 28.3-88
  • 11
  • ≤0.02
HR 系列 (2/3")
  • MML05-HR65D
  • 0.5
  • 172.8
  • 65.3
  • 12.8
  • 3
  • 0.026
  • 9.5
  • 11
  • ≤-0.01
  • MML05-HR65
  • 0.5
  • 172.8
  • 65.3
  • 12.8
  • 3
  • 0.026
  • 9.5
  • 11
  • ≤-0.01
  • MM08-HR65D
  • 0.8
  • 172.3
  • 65
  • 8.4
  • 1.2
  • 0.04
  • 9.9
  • 11
  • ≤0.02
  • MM08-HR65
  • 0.8
  • 172.3
  • 65
  • 8.4
  • 1.2
  • 0.04
  • 9.9
  • 11
  • ≤0.02
  • MML1-HR65D
  • 1
  • 162.5
  • 65
  • 7.5
  • 0.88
  • 0.045
  • 11
  • 11
  • ≤-0.02
  • MML1-HR65
  • 1
  • 162.5
  • 65
  • 7.5
  • 0.88
  • 0.045
  • 11
  • 11
  • ≤-0.02
  • MML1.5-HR65
  • 1.5
  • 157.2
  • 65
  • 5.4
  • 0.42
  • 0.063
  • 12
  • 8
  • ≤-0.04
  • MML2-HR65D
  • 2
  • 162.6
  • 65
  • 4.5
  • 0.27
  • 0.074
  • 13.5
  • 11
  • ≤0.02
  • MML2-HR65
  • 2
  • 162.6
  • 65
  • 4.5
  • 0.27
  • 0.074
  • 13.5
  • 11
  • ≤0.02
  • MML4-HR65D-VI
  • 4
  • 187.2
  • 65
  • 3~13.3
  • 0.09~0.53
  • 0.112~0.025
  • 17.9~79.2
  • 11
  • ≤0.02
  • MML4-HR65D
  • 4
  • 187.2
  • 65
  • 3
  • 0.09
  • 0.112
  • 17.9
  • 11
  • ≤0.02
  • MML4-HR65
  • 4
  • 187.2
  • 65
  • 3
  • 0.09
  • 0.112
  • 17.9
  • 11
  • ≤0.02
  • MML6-HR65D-VI
  • 6
  • 202.1
  • 65
  • 3~13.3
  • 0.06~0.58
  • 0.112~0.025
  • 26.7~124
  • 11
  • ≤0.01
  • MML6-HR65D
  • 6
  • 202.1
  • 65
  • 3
  • 0.06
  • 0.112
  • 26.7
  • 11
  • ≤0.01
  • MML6-HR65
  • 6
  • 202.1
  • 65
  • 3
  • 0.06
  • 0.112
  • 26.7
  • 11
  • ≤0.01
  • MML018-110D
  • 0.18
  • 336.3
  • 110.4
  • 24
  • 15
  • 0.01
  • 6.4
  • 11
  • ≤0.01
  • MML018-110
  • 0.18
  • 336.3
  • 110.4
  • 24
  • 15
  • 0.01
  • 6.4
  • 11
  • ≤0.01
  • MML03-HR110
  • 0.3
  • 269.9
  • 110
  • 16.7
  • 6.6
  • 0.02
  • 7.5
  • 11
  • ≤0.05
  • MML05-HR110
  • 0.5
  • 262.6
  • 110
  • 12.8
  • 3
  • 0.026
  • 9.5
  • 11
  • ≤0.02
  • MML1-HR110
  • 1
  • 257.6
  • 110
  • 7.4
  • 0.88
  • 0.045
  • 11
  • 11
  • ≤0.01
  • MML2-HR110D
  • 2
  • 257.9
  • 110
  • 4.5
  • 0.27
  • 0.074
  • 13.5
  • 11
  • ≤0.02
  • MML2-HR110
  • 2
  • 257.9
  • 110
  • 4.5
  • 0.27
  • 0.074
  • 13.5
  • 11
  • ≤0.02
  • MML4-HR110D
  • 4
  • 260.2
  • 110
  • 3.7
  • 0.11
  • 0.09
  • 22.2
  • 11
  • ≤-0.01
  • MML6-HR110D
  • 6
  • 288.1
  • 110
  • 4.5
  • 0.09
  • 0.075
  • 39.9
  • 11
  • ≤0.03
  • MML04-HR120D
  • 0.4
  • 311.6
  • 120
  • 17.72
  • 5.3
  • 0.019
  • 10.6
  • 11
  • ≤-0.03
  • MML04-HR120
  • 0.4
  • 311.6
  • 120
  • 17.72
  • 5.3
  • 0.019
  • 10.6
  • 11
  • ≤-0.03
  • MML015-HR150
  • 0.15
  • 300
  • 150
  • 35.65
  • 28.22
  • 0.009
  • 7.96
  • 9
  • ≤-0.042
  • MML015-HR165VI-9C
  • 0.15
  • 355.5
  • 165
  • 18.11
  • 14.39~39.11
  • 0.019~0.0068
  • 4.05~11
  • 9
  • ≤-0.081
  • MML02-220D
  • 0.2
  • 360.9
  • 222
  • 16.7
  • 10
  • 0.02
  • 5
  • 11
  • ≤0.01
  • MML4-HR220D
  • 4
  • 419.5
  • 221.4
  • 4
  • 0.12
  • 0.08
  • 24.3
  • 11
  • ≤0.04
  • MML6-HR220D
  • 6
  • 446.5
  • 220.2
  • 4
  • 0.08
  • 0.08
  • 36.2
  • 11
  • ≤0.02
  • MML1-HR244
  • 1
  • 383.6
  • 244
  • 8.4
  • 1
  • 0.04
  • 12.6
  • 11
  • ≤0.01
  • MML08-HR255
  • 0.8
  • 385.9
  • 255.7
  • 8.5
  • 1.3
  • 0.04
  • 10.1
  • 11
  • ≤0.02
SWIR 系列
NIR系列
  • MML6-80D-IR
  • 6
  • 249.8
  • 81.5
  • 4
  • 0.033
  • 0.15
  • 20.1
  • 11
  • ≤0.01
定制镜头

如需要定制产品服务,欢迎您与所在区域的销售联络!

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